真空系統的相關元件
吸板 SP
| 系列 | 外形 | 吸附部尺寸 | 燒結金屬濾芯粒徑 | 吸附口 |
|---|---|---|---|---|
| SP | 長方形、正方形 | □50×50mm 、□100×100mｍ、□150×150mm □200×200mm、□250×250mm、□300×300mm | φ0.3（球體） | 1/8 |
真空用自由安裝型氣缸 ZCUK
| 系列 | 缸筒內徑 （mm） | 真空吸盤直徑 | 行程 （mm） |
|---|---|---|---|
| ZCUK | 10，16，20，25，30 | φ2～φ50 | 5～50 |
真空用過濾器 AFJ
| 系列 | 連接口徑 | 推薦流量L/min （ANR） | 過濾精度[μm] |
|---|---|---|---|
| AFJ | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 180，380，660 | 5，40，80 |
真空用冷凝水分離器 AMJ
| 系列 | 連接口徑 | 推薦流量L/min （ANR） | 使用壓力范圍 | 水滴去除率 |
|---|---|---|---|---|
| AMJ | 1/4，3/8，1/2，3/4，1 | 200，350，500 | ?100?0kPa | 90％ |
真空泵用排氣潔凈器 AMV
| 系列 | 連接口徑 | 最大出力流量 (【L/min（ANR）】 | 油霧分解率 | 過濾精度 |
|---|---|---|---|---|
| AMV | 1，11/2，2，3BJIS 10K FF法蘭 4BJIS 10K FF法蘭 | 360～16000 | 99.5％以上 | 0.3μm （吸收效率95％） |
